Seto 1.60 фотохромни обектив SHMC

1) Какво е въртящо се покритие?

Спинното покритие е процедура, използвана за депозиране на равномерни тънки филми върху плоски субстрати. Обикновено в центъра на субстрата се нанася малко количество материал за покритие, който или се върти при ниска скорост, или изобщо не се върти. След това субстратът се завърта със скорост до 10 000 об / мин, за да се разпространи материала на покритието чрез центробежна сила. Машина, използвана за въртящо се покритие, се нарича въртящо се покритие или просто въртящ се.
Въртенето продължава, докато течността се върти от краищата на субстрата, докато се постигне желаната дебелина на филма. Прилаганият разтворител обикновено е летлив и едновременно се изпарява. Колкото по -висока е ъгловата скорост на въртене, толкова по -тънък е филмът. Дебелината на филма също зависи от вискозитета и концентрацията на разтвора и разтворителя. [2] Пионерски теоретичен анализ на спиновото покритие е направен от Emslie et al., И е разширен от много следващи автори (включително Wilson et al., [4], които са изследвали скоростта на разпространение в спиновото покритие и Danglad-Flores et al., [5], който намери универсално описание, за да предскаже дебелината на отложен филм).
Спинното покритие се използва широко при микрофабрикация на функционални оксидни слоеве върху стъклени или единични кристални субстрати, използвайки сол-гел прекурсори, където може да се използва за създаване на равномерни тънки филми с наноразмерни дебелини. [6] Използва се интензивно във фотолитографията, за да се отлага слоеве на фоторезист с дебелина около 1 микрометра. Фоторезистът обикновено се върти при 20 до 80 оборота в секунда за 30 до 60 секунди. Освен това се използва и за производството на равнинни фотонни структури, изработени от полимери.
Едно предимство за въртене на покриване на тънки филми е еднаквостта на дебелината на филма. Благодарение на самоуверението, дебелините не варират повече от 1%. Въпреки това, въртящото се покритие по -дебели филми на полимери и фоторезисти могат да доведат до сравнително големи ръбови топчета, чиято планаризация има физически граници.